Verios 460超高分辨率扫描电子显微镜系统技术指标描述

1 电子光学系统

1.1 二次电子分辨率：优于0.6 nm (2kV – 15kV范围内)；0.7 nm@1kV；1.0nm@0.5kV；1.2nm@0.2 kV (保证客户现场验收)

1.2 放大倍率：40 ～ 900,000倍

根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准

1.3 加速电压：0.05 ～ 30 kV，着陆电压：0.02 ～ 30kV

1.4 电子枪：带电子束单色器技术的超高亮肖特基场发射电子枪

1.5 电子束流：0.8pA ～ 100 nA，连续可调

1.8 60°锥度物镜几何设计，恒功率双物镜系统（电磁透镜和静电透镜）

1.9 自动式物镜光阑：物镜光栏应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑，15孔可调光阑

2 样品室

2.1 样品室：可容纳样品直径100 mm, 21个附件接口

2.2 可安装冷冻样品台附件

2.3 样品台：五轴马达驱动超高精度样品台，移动范围指标：

X/Y≧100 mm, Z ³ 20mm,

X/Y重复精度：0.5μm，连续旋转：R=720° 倾斜角

T：范围不小于-10º～+60º

2.4 配置电子束减速模式，-50V至-4KV

3 探测器：

3.1 Through-lens SE detector (TLD-SE) (透镜内二次电子探测器)

3.2 Through-lens BSE detector (TLD-BSE) (透镜内背散射电子探测器)

3.3 Elstar in-column SE detector (ICD) (镜筒内二次电子检测器)

3.4 Elstar in-column BSE detector (MD) (镜筒内背散射电子探测器)

3.5 Everhart-Thornley SED (样品室E-T二次电子探头)

3.6 Retractable DBS Detector (可拔插式定向背散射探头)

3.7 Retractable STEM 3+ Detector (可伸缩扫描透射探头)

3.7 电子束流：电子束流测量

3.8 样品室红外CCD相机

3.9 样品室导航光学探测器

4 清洁度控制

4.1配置等离子体清洗器，与电镜软件一体化控制，保证无缝式售后

4.2 冷阱

5 真空系统

5.1 无油真空系统

5.2 由一个210L/S前级机械泵，一个涡轮分子泵和两个离子泵组成

5.3 样品室真空度：优于2.6×10^-6 mBar(24小时抽吸之后)

6 数字图像处理、记录系统